{"id":15885,"date":"2002-04-03T00:00:00","date_gmt":"2002-04-03T00:00:00","guid":{"rendered":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/sin-categoria\/estudio-de-la-oxidacion-local-de-superficies-de-silicio-mediante-microscopia-de-fuerzas-y-sus-aplicacioines-a-la-nanolitografia\/"},"modified":"2002-04-03T00:00:00","modified_gmt":"2002-04-03T00:00:00","slug":"estudio-de-la-oxidacion-local-de-superficies-de-silicio-mediante-microscopia-de-fuerzas-y-sus-aplicacioines-a-la-nanolitografia","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/fisica\/estudio-de-la-oxidacion-local-de-superficies-de-silicio-mediante-microscopia-de-fuerzas-y-sus-aplicacioines-a-la-nanolitografia\/","title":{"rendered":"Estudio de la oxidacion local de superficies de silicio mediante microscopia de fuerzas y sus aplicacioines a la nanolitografia"},"content":{"rendered":"<h2>Tesis doctoral de <strong> Montserrat Calleja Gomez <\/strong><\/h2>\n<p>En este trabajo de tesis se  ha optimizado el metodo de oxidaci\u00f3n local mediante afm en no-contacto para la modificaci\u00f3n de superficies. Se ha logrado una resoluci\u00f3n lateral de 10 nm en la escritura de motivos de \u00f3xido sobre superficies de silicio (100) y de titanio. Se ha demostrado que la operaci\u00f3n en el modo de no-contacto proporciona a la t\u00e9cnica una elevada reproducibilidad y fiabilidad, pues permite que se preserve la calidad de las puntas, incluso tras escribir miles de marcas de \u00f3xido.  el estudio de la formaci\u00f3n de capilares liquidos entre la punta de afm y la superficie ha permitido comprender el mecanismo de la oxidaci\u00f3n cuando punta y superficie se encuentran separadas a una distancia mayor que el doble del radio de kelvin (&gt;2 nm para hr &lt;70%). Se ha demostrado que la formaci\u00f3n de un menisco de agua entre la punta y la superficie en condici\u00f3n necesaria para que pueda producirse la oxidaci\u00f3n. El estudio de estos capilares liquidos inducidos por campo electrico, en particular la determinacion de las propiedades de estos cuellos y su influencia en el confinamiento de la reacci\u00f3n de oxidaci\u00f3n, ha mostrado que la formaci\u00f3n de meniscos l\u00edquidos es un factor determinante en la resoluci\u00f3n para la escritura de marcas de \u00f3xido.  las marcas de \u00f3xido obtenidas por oxidaci\u00f3n en no-contacto se han utilizado para la escritura de un prototipo de memoria de almacenamiento de informaci\u00f3n a largo plazo. Se ha escrito una matriz de 4864 puntos de \u00f3xido de silicio. cada punto de \u00f3xido tiene un di\u00e1metro de 10 nm y 1 nm de altura y estan separados una distancia de 40 nm. El area total ocupada por la matriz de puntos es de 8 um2. Si se considera que cada uno de los puntos y cada espacio que los separa constituye un bit de informaci\u00f3n la densidad de almacenamiento obtenida es de 122 gbits\/cm2.  utilizando la oxidaci\u00f3n local en el regimen de no-contacto se han fabricado tambien dispositivos activos.  la litograf\u00eda m<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Datos acad\u00e9micos de la tesis doctoral \u00ab<strong>Estudio de la oxidacion local de superficies de silicio mediante microscopia de fuerzas y sus aplicacioines a la nanolitografia<\/strong>\u00ab<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>T\u00edtulo de la tesis:<\/strong>\u00a0 Estudio de la oxidacion local de superficies de silicio mediante microscopia de fuerzas y sus aplicacioines a la nanolitografia <\/li>\n<li><strong>Autor:<\/strong>\u00a0 Montserrat Calleja Gomez <\/li>\n<li><strong>Universidad:<\/strong>\u00a0 Santiago de compostela<\/li>\n<li><strong>Fecha de lectura de la tesis:<\/strong>\u00a0 04\/03\/2002<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Direcci\u00f3n y tribunal<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>Director de la tesis<\/strong>\n<ul>\n<li>Ricardo Garcia Garcia<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>Tribunal<\/strong>\n<ul>\n<li>Presidente del tribunal: jose Rivas rey <\/li>\n<li> Anguita estefania Jos\u00e9 v. (vocal)<\/li>\n<li>francesc Perez murano (vocal)<\/li>\n<li> Saenz guitierrez Juan  Jos\u00e9 (vocal)<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Tesis doctoral de Montserrat Calleja Gomez En este trabajo de tesis se ha optimizado el metodo de oxidaci\u00f3n local mediante [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"default","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[199,1008,977,8294],"tags":[30913,49641,2493,50444,50445,50446],"class_list":["post-15885","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-fisica","category-fisica-del-estado-solido","category-santiago-de-compostela","category-superficies","tag-anguita-estefania-jose-v","tag-francesc-perez-murano","tag-jose-rivas-rey","tag-montserrat-calleja-gomez","tag-ricardo-garcia-garcia","tag-saenz-guitierrez-juan-jose"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/15885","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=15885"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/15885\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=15885"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=15885"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=15885"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}