{"id":30987,"date":"2018-03-09T09:24:51","date_gmt":"2018-03-09T09:24:51","guid":{"rendered":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/sin-categoria\/fabricacion-y-caracterizacion-de-dielectricos-de-alta-permitividad-para-su-aplicacion-como-aislantes-de-puerta-en-dispositivos-mis\/"},"modified":"2018-03-09T09:24:51","modified_gmt":"2018-03-09T09:24:51","slug":"fabricacion-y-caracterizacion-de-dielectricos-de-alta-permitividad-para-su-aplicacion-como-aislantes-de-puerta-en-dispositivos-mis","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/sin-categoria\/fabricacion-y-caracterizacion-de-dielectricos-de-alta-permitividad-para-su-aplicacion-como-aislantes-de-puerta-en-dispositivos-mis\/","title":{"rendered":"Fabricaci\u00f3n y caracterizaci\u00f3n de diel\u00e9ctricos de alta permitividad para su aplicaci\u00f3n como aislantes de puerta en dispositivos mis"},"content":{"rendered":"<h2>Tesis doctoral de <strong>  San Andr\u00e9s Serrano Enrique <\/strong><\/h2>\n<p>A lo largo de esta tesis doctoral se han estudiado diversos dil\u00e9ctricos de alta permitividad depositados mediante t\u00e9cnicas de plasma (ecr-cvd y hprs) para su posible uso como aislantes de puerta en dispositivos misfet.  se ha estudiado el sub\u00f3xido de si depositado mediante ecr-cvd. Se ha demostrado que mediante el control de los gases es posible controlar la comosici\u00f3n de la pel\u00edcula, as\u00ed como que una importante cantidad de hidr\u00f3geno se incorpora durante el dep\u00f3sito. Al hacer rta en atm\u00f3sfera inerte en las l\u00e1minas de sioxhy se ha encontrado que al hacer rta a temperaturas inferiores a 700\u00c2\u00bac el hidr\u00f3geno escapa de la pel\u00edcula sin que se produzcan cambios en la matriz de sub\u00f3xido, pero dejando enlaces colgantes que act\u00faan como defectos, y que para temperaturas por encima de 700\u00c2\u00bac el hidr\u00f3geno ha escapado completamente del sub\u00f3xido, y lo que se produce es una separaci\u00f3n de fases, form\u00e1ndose sio2 de alta calidad con inclusiones de si manocristalino, en el que acumulan los defectos. El alto contenido de defectos hace que el sioxhy no sea adecuado para dispositivos mis, como se comprueba fabricando dispositivos mis.  mediante la oxidaci\u00f3n por plasma ecr se han fabricado diel\u00e9ctricos apilados sin1.55:h\/po-siox, que con un tratamiento de rta en atm\u00f3sfera inerte a 1000\u00c2\u00bac se consigue que presenten densidades de estados de intercara adecuadas para su uso en dispositivos comerciales, adem\u00e1s de una excelente estabilidad t\u00e9rmica del aislante.  por \u00faltimo, se ha estudiado el tio2 depositado mediante pulverizaci\u00f3n a alta presi\u00f3n (hprs). Las caracter\u00edsticas el\u00e9ctrica de los dispositivos mis fabricados con el tio2 t\u00e9rmico, manteniendo una baja corriente de fugas y con un espesor equivalente de \u00f3xido peque\u00f1o, por lo que el tio2 es un excelente candidato para su uso en futuras generaciones de dispositivos.<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Datos acad\u00e9micos de la tesis doctoral \u00ab<strong>Fabricaci\u00f3n y caracterizaci\u00f3n de diel\u00e9ctricos de alta permitividad para su aplicaci\u00f3n como aislantes de puerta en dispositivos mis<\/strong>\u00ab<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>T\u00edtulo de la tesis:<\/strong>\u00a0 Fabricaci\u00f3n y caracterizaci\u00f3n de diel\u00e9ctricos de alta permitividad para su aplicaci\u00f3n como aislantes de puerta en dispositivos mis <\/li>\n<li><strong>Autor:<\/strong>\u00a0  San Andr\u00e9s Serrano Enrique <\/li>\n<li><strong>Universidad:<\/strong>\u00a0 Complutense de Madrid<\/li>\n<li><strong>Fecha de lectura de la tesis:<\/strong>\u00a0 22\/06\/2004<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Direcci\u00f3n y tribunal<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>Director de la tesis<\/strong>\n<ul>\n<li> M\u00e1rtil De La Plaza Ignacio<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>Tribunal<\/strong>\n<ul>\n<li>Presidente del tribunal: german Gonz\u00e1lez d\u00edaz <\/li>\n<li>Juan Piqueras piqueras (vocal)<\/li>\n<li>Jos\u00e9 Mar\u00eda Albella martin (vocal)<\/li>\n<li>M\u00aa Elena Castan lanaspa (vocal)<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Tesis doctoral de San Andr\u00e9s Serrano Enrique A lo largo de esta tesis doctoral se han estudiado diversos dil\u00e9ctricos de 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