{"id":66316,"date":"2018-03-09T22:54:35","date_gmt":"2018-03-09T22:54:35","guid":{"rendered":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/sin-categoria\/monitorizacion-de-dioxido-de-carbono-mediante-variaciones-de-impedancia-en-pela%c2%adculas-delgadas-de-bati03-cuo-sintetizadas-por-rf-sputtering\/"},"modified":"2018-03-09T22:54:35","modified_gmt":"2018-03-09T22:54:35","slug":"monitorizacion-de-dioxido-de-carbono-mediante-variaciones-de-impedancia-en-pela%c2%adculas-delgadas-de-bati03-cuo-sintetizadas-por-rf-sputtering","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/dispositivos-semiconductores\/monitorizacion-de-dioxido-de-carbono-mediante-variaciones-de-impedancia-en-pela%c2%adculas-delgadas-de-bati03-cuo-sintetizadas-por-rf-sputtering\/","title":{"rendered":"Monitorizaci\u00f3n de di\u00f3xido de carbono mediante variaciones de impedancia en pel\u00edculas delgadas de bati03-cuo sintetizadas por rf-sputtering"},"content":{"rendered":"<h2>Tesis doctoral de <strong> Jaime Herran Planchuelo <\/strong><\/h2>\n<p>El continuo y sostenido avance que se ha producido en los \u00faltimos a\u00f1os en el sector de las microtecnolog\u00edas y los microsistemas ha dado lugar a un creciente desarrollo de procesos altamente controlados en ambiente de sala limpia, cuya aplicaci\u00f3n se ha extendido a campos como el de la fabricaci\u00f3n de sensores. El atractivo de estas t\u00e9cnicas radica en su repetibilidad en la reducci\u00f3n de consumos y en la miniaturizaci\u00f3n de los dispositivos as\u00ed fabricados. Si en este panorama se introduce la creciente demanda de dispositivos sensores tanto en \u00e1mbitos industriales como dom\u00e9sticos, resulta comprensible la adopci\u00f3n de las mencionadas t\u00e9cnicas para llegar a la obtenci\u00f3n de los denominados microsensores, en alusi\u00f3n tanto a la miniaturizaci\u00f3n de los mismos como a las microtecnolog\u00edas mediante las que se fabrican. Por otra parte, la investigaci\u00f3n relacionada con temas medioambientales es considerada actualmente por la sociedad como uno de los temas prioritarios, junto con el de la salud y el de la energ\u00eda. El di\u00f3xido de carbono (co2) es uno de los principales contaminantes, tanto en ambientes interiores como en exteriores. Adem\u00e1s, el control de la concentraci\u00f3n de este gas tambi\u00e9n es requerido por la industria alimenticia y por el sector de las energ\u00edas renovables. Actualmente, los sensores de di\u00f3xido de carbono comerciales est\u00e1n basados en tecnolog\u00eda \u00f3ptica, que implica problemas de integraci\u00f3n en los dispositivos electr\u00f3nicos actuales y unos precios muy elevados para determinadas aplicaciones. De todo lo expuesto hace el objetivo de este trabajo, que comprende el estudio, fabricaci\u00f3n y caracterizaci\u00f3n de un material para la detecci\u00f3n de di\u00f3xido de carbono que permita implementar un dispositivo de bajo coste. Por consiguiente, la realizaci\u00f3n del trabajo ha consistido en un estudio exhaustivo de las prestaciones del batio3-cuo como material sensor, para determinar su proceso y par\u00e1metros de fabricaci\u00f3n haciendo uso demicrotecnolog\u00edas. Los valores de respuesta obtenidos mediante las pel\u00edculas delgadas de bati03-cuo son comparados con otras tecnolog\u00edas de dispositivos actuales (comerciales y precomerciales) siendo superiores (200% de incremento) en el rango de concentraciones de las principales aplicaciones. El inter\u00e9s cient\u00edfico se refleja en las publicaciones (5 art\u00edculos) en la revista internacional sensors &#038; actuators b: chemical, de gran relevancia en el \u00e1mbito de los sensores qu\u00edmicos, as\u00ed como por varias comunicaciones a congresos internacionales (eurosensors y transducers). Finalmente mencionar la invitaci\u00f3n a realizar una exposici\u00f3n de los resultados cient\u00edficos obtenidos en el 6\u00c2\u00ba workshop internacional (sgs 2008, semiconductor gas sensors).<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Datos acad\u00e9micos de la tesis doctoral \u00ab<strong>Monitorizaci\u00f3n de di\u00f3xido de carbono mediante variaciones de impedancia en pel\u00edculas delgadas de bati03-cuo sintetizadas por rf-sputtering<\/strong>\u00ab<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>T\u00edtulo de la tesis:<\/strong>\u00a0 Monitorizaci\u00f3n de di\u00f3xido de carbono mediante variaciones de impedancia en pel\u00edculas delgadas de bati03-cuo sintetizadas por rf-sputtering <\/li>\n<li><strong>Autor:<\/strong>\u00a0 Jaime Herran Planchuelo <\/li>\n<li><strong>Universidad:<\/strong>\u00a0 Navarra<\/li>\n<li><strong>Fecha de lectura de la tesis:<\/strong>\u00a0 15\/07\/2008<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Direcci\u00f3n y tribunal<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>Director de la tesis<\/strong>\n<ul>\n<li>Gemma Garc\u00eda Mandayo<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>Tribunal<\/strong>\n<ul>\n<li>Presidente del tribunal: pedro Crespo bofill <\/li>\n<li>francesca Peiro Martinez (vocal)<\/li>\n<li>albert Cornet i claveras (vocal)<\/li>\n<li>carles Can\u00e9 ballart (vocal)<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Tesis doctoral de Jaime Herran Planchuelo El continuo y sostenido avance que se ha producido en los \u00faltimos a\u00f1os en 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