{"id":67845,"date":"2008-07-11T00:00:00","date_gmt":"2008-07-11T00:00:00","guid":{"rendered":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/sin-categoria\/porous-silicon-for-the-development-of-integrated-3d-capacitive-microstructures\/"},"modified":"2008-07-11T00:00:00","modified_gmt":"2008-07-11T00:00:00","slug":"porous-silicon-for-the-development-of-integrated-3d-capacitive-microstructures","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/propiedades-de-materiales\/porous-silicon-for-the-development-of-integrated-3d-capacitive-microstructures\/","title":{"rendered":"Porous silicon for the development of integrated 3d capacitive microstructures"},"content":{"rendered":"<h2>Tesis doctoral de <strong> Ana Sancho Erkizia <\/strong><\/h2>\n<p>Silicio poroso para el desarrollo de microestructuras capacitivas 3d integradas en la industria microelectr\u00f3nica y paralelamente con la integraci\u00f3n de los transistores mos y bipolares, la fabricaci\u00f3n de condensadores integrados a distinta escala, ha supuesto in importante reto en las \u00faltimas d\u00e9cadas. Comenzando por el primitivo condensador plano bidimensional y siguiendo con los actuales tridimensionales, los elementos de almacenamiento de carga han ido progresivamente evolucionando para satisfacer la escala miniaturizaci\u00f3n requerida por los avances en los circuitos integrados. Por otro lado, la reciente expansi\u00f3n de los biomems (sistemas microelectromec\u00e1nicos dirigidos a aplicaciones biom\u00e9dicas) propicia el uso de los microcondensadores como dispositivos de microalimentaci\u00f3n. desde su descubrimiento a finales de los 50, el silicio poroso, en sus diversas variantes, ha sorprendido repetidamente a la comunidad cient\u00edfica debido a sus relevantes caracter\u00edsticas. El descubrimiento a finales de los 80 de sus propiedades luminiscentes desencaden\u00f3 una lluvia de investigaciones entorno al silicio poroso. A principios del presente milenio, la comunidad fue sorprendida una vez m\u00e1s a ra\u00edz del descubrimiento de sus propiedades biodegradables y bioactivas dentro de fluidos humanos. De este modo se abre una puerta a ilimitadas aplicaciones. este trabajo unifica los dos campos mencionados al desarrollar silicio poroso para aplicaciones de almacenamiento de carga. El silicio macroporoso es obtenido mediante t\u00e9cnicas electroqu\u00edmicas, siendo a continuaci\u00f3n caracterizado y ensayado para su uso como m\u00e9todo de aumento de \u00e1rea superficial en microcondensadores integrados en silicio. la formaci\u00f3n de estructuras de elevado ratio de aspecto (high aspect ratio structures, hars) de paredes lisas mediante t\u00e9cnicas electroqu\u00edmicas, esto es, macroporos de silicio, constituye, en s\u00ed misma, un importante aspecto novedoso de este trabajo, en relaci\u00f3n con la experiencia previa del departamento. Este aspecto se refuerza con la novedosa utilizaci\u00f3n del equipo de dep\u00f3sito qu\u00edmico en fase vapor a baja presi\u00f3n (low pressure chemical vapor deposition, lpcvd), el empleo de pel\u00edculas conductivas y transparentes de \u00f3xido de indio y esta\u00f1o (indium tin oxide, ito) como contacto \u00f3hmico y el dopado de hars. el documento se divide en 8 cap\u00edtulos. El primero presenta una breve revisi\u00f3n a cerca de la presencia y evoluci\u00f3n de los microcondensadores dentro del entorno de las microtecnolog\u00edas; as\u00ed mismo, se citan los principales aspectos y aplicaciones del silicio poroso. El segundo cap\u00edtulo sintetiza la motivaci\u00f3n y los objetivos del trabajo. El tercer cap\u00edtulo explica la teor\u00eda de formaci\u00f3n del silicio macroporoso. El cuarto cap\u00edtulo describe las t\u00e9cnicas y los bancos empleados en la fabricaci\u00f3n y caracterizaci\u00f3n de las muestras, donde s\u00f3lo las t\u00e9cnicas m\u00e1s relevantes son detalladas. El quinto cap\u00edtulo muestra el proceso de fabricaci\u00f3n de las distintas muestras, incluyendo aquellos dirigidos a prototipo final y los dirigidos a la evaluaci\u00f3n del proceso fabricaci\u00f3n. El sexto cap\u00edtulo expone y contrasta los resultados derivados de la fabricaci\u00f3n en s\u00ed misma. El s\u00e9ptimo cap\u00edtulo completa el trabajo presentando los resultados y la discusi\u00f3n correspondiente al prototipo capacitivo final. Por \u00faltimo, el cap\u00edtulo 8 cubre las principales conclusiones y algunas pautas sugeridas para la mejora del dispositivo capacitivo. El documento se cierra con informaci\u00f3n adicional proporcionada por los ap\u00e9ndices.<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Datos acad\u00e9micos de la tesis doctoral \u00ab<strong>Porous silicon for the development of integrated 3d capacitive microstructures<\/strong>\u00ab<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>T\u00edtulo de la tesis:<\/strong>\u00a0 Porous silicon for the development of integrated 3d capacitive microstructures <\/li>\n<li><strong>Autor:<\/strong>\u00a0 Ana Sancho Erkizia <\/li>\n<li><strong>Universidad:<\/strong>\u00a0 Navarra<\/li>\n<li><strong>Fecha de lectura de la tesis:<\/strong>\u00a0 07\/11\/2008<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Direcci\u00f3n y tribunal<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>Director de la tesis<\/strong>\n<ul>\n<li>Javier Gracia Gaudo<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>Tribunal<\/strong>\n<ul>\n<li>Presidente del tribunal: pedro Crespo bofill <\/li>\n<li>eduard Llobet valero (vocal)<\/li>\n<li>angel Rodriguez Martinez (vocal)<\/li>\n<li>Jos\u00e9 Mar\u00eda Quero reboul (vocal)<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Tesis doctoral de Ana Sancho Erkizia Silicio poroso para el desarrollo de microestructuras capacitivas 3d integradas en la industria microelectr\u00f3nica 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