{"id":71619,"date":"2004-02-12T00:00:00","date_gmt":"2004-02-12T00:00:00","guid":{"rendered":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/sin-categoria\/desarrollo-y-fabricacion-de-estructuras-suspendidas-micromecanizadas-y-aplicacion-al-sensado-de-gases\/"},"modified":"2004-02-12T00:00:00","modified_gmt":"2004-02-12T00:00:00","slug":"desarrollo-y-fabricacion-de-estructuras-suspendidas-micromecanizadas-y-aplicacion-al-sensado-de-gases","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/fisica\/desarrollo-y-fabricacion-de-estructuras-suspendidas-micromecanizadas-y-aplicacion-al-sensado-de-gases\/","title":{"rendered":"Desarrollo y fabricacion de estructuras suspendidas micromecanizadas y aplicacion al sensado de gases"},"content":{"rendered":"<h2>Tesis doctoral de <strong> Jorge Amirola Sanz <\/strong><\/h2>\n<p>Durante los \u00faltimos tiempos ha aparecido el concepto de los sistemas micro-electro-mec\u00e1nicos (mems). Este tipo de sistemas pueden dar soluci\u00f3n a m\u00faltiples problemas de dimensiones (miniaturizaci\u00f3n), de consumo, etc, pero a su vez constituyen una fuente enorme de nuevas soluciones y aplicaciones.  entre las estructuras m\u00e1s vers\u00e1tiles dentro del mundo de los mems se encuentran los voladizos (o cantilevers) y los puentes suspendidos. Este tipo de estructuras se han demostrado como muy \u00fatiles para un gran n\u00famero de aplicaciones tanto como de sensado como de actuaci\u00f3n.  en el trabajo desarrollado en esta tesis se han dise\u00f1ado y fabricado diferentes estructuras tipo cantilever y puente mediante procesos de fabricaci\u00f3n desarrollados expresamente en este trabajo.  uno de los campos en los que se han desarrollado m\u00e1s esfuerzos desde la aparici\u00f3n de este tipo de estructuras es el de sensado de gases, por ello en este trabajo se han demostrado el funcionamiento de los dispositivos fabricados para esta aplicaci\u00f3n.  se presenta en primer lugar un estudio del estado del arte tanto desde el punto de vista de la estructura en si mismo, como de los sensores de gases en general.  a continuaci\u00f3n se realiza un repaso de los fundamentos te\u00f3ricos en los que se basa el comportamiento electro-mec\u00e1nico de los dispositivos que se pretenden fabricar. Estos son cantilevers tanto resonantes como no resonantes en los que el sensado de gases se basar\u00e1 en su funcionalizaci\u00f3n mediante una capa de pol\u00edmero sensible. Los principios de detecci\u00f3n propuestos son: por variaci\u00f3n de la frecuencia de resonancia debido a la absorci\u00f3n (dispositivos resonantes, detecci\u00f3n electrost\u00e1tica) y por deflexi\u00f3n debida al estr\u00e9s diferencial de superficie inducido por la absorci\u00f3n (dispositivos no resonantes detecci\u00f3n electrost\u00e1tica (variaci\u00f3n de capacidad) o piezoresistiva). Se presenta, un estudio mediante simulaciones de las prestaciones te\u00f3ricas de<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Datos acad\u00e9micos de la tesis doctoral \u00ab<strong>Desarrollo y fabricacion de estructuras suspendidas micromecanizadas y aplicacion al sensado de gases<\/strong>\u00ab<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>T\u00edtulo de la tesis:<\/strong>\u00a0 Desarrollo y fabricacion de estructuras suspendidas micromecanizadas y aplicacion al sensado de gases <\/li>\n<li><strong>Autor:<\/strong>\u00a0 Jorge Amirola Sanz <\/li>\n<li><strong>Universidad:<\/strong>\u00a0 Polit\u00e9cnica de catalunya<\/li>\n<li><strong>Fecha de lectura de la tesis:<\/strong>\u00a0 02\/12\/2004<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Direcci\u00f3n y tribunal<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>Director de la tesis<\/strong>\n<ul>\n<li>Angel Rodriguez Martinez<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>Tribunal<\/strong>\n<ul>\n<li>Presidente del tribunal: Luis Casta\u00f1er mu\u00f1oz <\/li>\n<li>carles Cane (vocal)<\/li>\n<li>Javier Gracia gaudo (vocal)<\/li>\n<li>carmen Horillo g\u00ed\u00bcemes (vocal)<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Tesis doctoral de Jorge Amirola Sanz Durante los \u00faltimos tiempos ha aparecido el concepto de los sistemas micro-electro-mec\u00e1nicos (mems). Este [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"default","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[332,9631,3705,199,1008,15596,3706],"tags":[86863,73202,156003,17943,156002,15847],"class_list":["post-71619","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-ciencias-tecnologicas","category-dispositivos-de-estado-solido","category-dispositivos-semiconductores","category-fisica","category-fisica-del-estado-solido","category-politecnica-de-catalunya","category-tecnologia-electronica","tag-angel-rodriguez-Martinez","tag-carles-cane","tag-carmen-horillo-giemes","tag-javier-gracia-gaudo","tag-jorge-amirola-sanz","tag-luis-castaner-munoz"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/71619","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=71619"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/71619\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=71619"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=71619"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=71619"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}