{"id":75923,"date":"2018-03-09T23:21:15","date_gmt":"2018-03-09T23:21:15","guid":{"rendered":""},"modified":"2018-03-09T23:21:15","modified_gmt":"2018-03-09T23:21:15","slug":"diseno-y-fabricacion-de-sistemas-micro-nano-electromecanicos-interados-monola%c2%adticamente-para-aplicaciones-de-sensores-de-masa-y-sensores-biologicos-con-palancas-como-elementos-transductores","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/fisica\/diseno-y-fabricacion-de-sistemas-micro-nano-electromecanicos-interados-monola%c2%adticamente-para-aplicaciones-de-sensores-de-masa-y-sensores-biologicos-con-palancas-como-elementos-transductores\/","title":{"rendered":"Dise\u00f1o y fabricaci\u00f3n de sistemas micro\/nano electromec\u00e1nicos interados monol\u00edticamente para aplicaciones de sensores de masa y sensores biol\u00f3gicos con palancas como elementos transductores"},"content":{"rendered":"<h2>Tesis doctoral de <strong> Mar\u00eda Villarroya Gaud\u00f3 <\/strong><\/h2>\n<p>El objetivo de esta tesis es la implementaci\u00f3n de sensores de alta resoluci\u00f3n, formados por sistemas micro\/nano electromec\u00e1nicamente integrados monol\u00edticamente, basados en palanca como elemento transductor y utilizando para la fabricaci\u00f3n tecnolog\u00edas de silicio. En concreto, se determinar\u00e1 la tecnolog\u00eda de fabricaci\u00f3n \u00f3ptima para la implementaci\u00f3n de sensores basados en palancas, para aplicaciones en aire o vacio y l\u00edquido. Se establecer\u00e1 las t\u00e9cnicas de detecci\u00f3n y excitaci\u00f3n adecuados para los sensores basados en palancas.  Y se realiza la compatibilizaci\u00f3n de la tecnolog\u00eda de fabricaci\u00f3n de sensores basados en palancas. Y se realiza la compatibilizaci\u00f3n de la tecnolog\u00eda de fabricaci\u00f3n de sensores con la tecnolog\u00eda cmos, de forma que se consiga la integraci\u00f3n monolitica del sistema.  para ello, se fabrican tres demostradores distintos, dos de ellos senores de masa formados por palancas resonantes y un tercer sistema capaz de trabajar en medio l\u00edquido para detecci\u00f3n electroqu\u00edmica.  en el primer demostrador se fabrica un sensor de masa formado por una matriz de palancas de polisilicio integrado monol\u00edticamente con la circuiter\u00eda de lectura. Para ello se utiliza como capa estructural uno de los niveles de polisilicio de la tecnolog\u00eda cmos utilizada (tecnolog\u00eda cmos cnm25 2p, 2m con dos niveles de metal y dos niveles de polisilicio). Se han dise\u00f1ado matrices de cuatro y ocho palancas que permiten realizar medidas mutliplexadas de cada una de las palancas independientemente y medidas diferenciales. de forma que por un lado se aumenta la versatilidad del sistema y al realizar medidas diferenciales mejora la resoluci\u00f3n. Durante el proceso cmos se definen las \u00e1reas de fabricaci\u00f3n y como post-proceso se definen los transductores mec\u00e1nicos. Tras caracterizaci\u00f3n el\u00e9ctrica de los sistemas, de este demostrador se concluye la integraci\u00f3n monol\u00edtica es posible de un sistema vers\u00e1til, con resoluci\u00f3n en masa in<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Datos acad\u00e9micos de la tesis doctoral \u00ab<strong>Dise\u00f1o y fabricaci\u00f3n de sistemas micro\/nano electromec\u00e1nicos interados monol\u00edticamente para aplicaciones de sensores de masa y sensores biol\u00f3gicos con palancas como elementos transductores<\/strong>\u00ab<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>T\u00edtulo de la tesis:<\/strong>\u00a0 Dise\u00f1o y fabricaci\u00f3n de sistemas micro\/nano electromec\u00e1nicos interados monol\u00edticamente para aplicaciones de sensores de masa y sensores biol\u00f3gicos con palancas como elementos transductores <\/li>\n<li><strong>Autor:<\/strong>\u00a0 Mar\u00eda Villarroya Gaud\u00f3 <\/li>\n<li><strong>Universidad:<\/strong>\u00a0 Aut\u00f3noma de barcelona<\/li>\n<li><strong>Fecha de lectura de la tesis:<\/strong>\u00a0 21\/07\/2005<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Direcci\u00f3n y tribunal<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>Director de la tesis<\/strong>\n<ul>\n<li>Nuria Barniol Beumala<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>Tribunal<\/strong>\n<ul>\n<li>Presidente del tribunal: gabriel Abadal berini <\/li>\n<li>eduard Figueras costa (vocal)<\/li>\n<li>alejandro P\u00e9rez rodr\u00edguez (vocal)<\/li>\n<li> Tamayo de Miguel Javier (vocal)<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Tesis doctoral de Mar\u00eda Villarroya Gaud\u00f3 El objetivo de esta tesis es la implementaci\u00f3n de sensores de alta resoluci\u00f3n, formados 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