{"id":82838,"date":"2000-01-01T00:00:00","date_gmt":"2000-01-01T00:00:00","guid":{"rendered":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/sin-categoria\/crecimiento-de-peliculas-delgadas-de-sno2-mediante-pulverizacion-catodica-para-el-desarrollo-de-microsensores-de-gas-metano\/"},"modified":"2000-01-01T00:00:00","modified_gmt":"2000-01-01T00:00:00","slug":"crecimiento-de-peliculas-delgadas-de-sno2-mediante-pulverizacion-catodica-para-el-desarrollo-de-microsensores-de-gas-metano","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/ciencias-tecnologicas\/crecimiento-de-peliculas-delgadas-de-sno2-mediante-pulverizacion-catodica-para-el-desarrollo-de-microsensores-de-gas-metano\/","title":{"rendered":"Crecimiento de peliculas delgadas de sno2 mediante pulverizacion catodica para el desarrollo de microsensores de gas metano."},"content":{"rendered":"<h2>Tesis doctoral de <strong> Santiago Miguel Olaizola Izquierdo <\/strong><\/h2>\n<p>El continuo avance de la tecnolog\u00eda de microsistemas est\u00e1 dando lugar a innovadores y altamente controlados procesos que en un ambiente de sala limpia permiten la microfabricaci\u00f3n de complejos dispositivos miniaturizados, de bajo consumo y con un relativo bajo coste derivado de una potencial fabricaci\u00f3n en grandes series.  el trabajo que se presenta, aplica estas t\u00e9cnicas al sector de los microsensores qu\u00edmicos en general y a los microsensores de gases en particular. Partiendo de un material b\u00e1sico en la industria microelectr\u00f3nica, como es el sicilio monocristalino, a\u00f1ade nuevos materiales espec\u00edficos como son las cer\u00e1micas semiconductoras. En este contexto se distinguen dos grandes \u00e1reas de investigaci\u00f3n y desarrollo:  poruna parte, se investiga las propiedades sensoras de pel\u00edculas delgadas de \u00f3xido de esta\u00f1o depositadas por sputtet para la detecci\u00f3n de metano. Se ha analizado la influencia que tienen diferentes par\u00e1metros del proceso de dep\u00f3sito de la pel\u00edcula en la obtenci\u00f3n de pel\u00edculas sensibles y selectivas al metano. De esta manera, se ha desarrollado un proceso de optimizaci\u00f3n de las pel\u00edculas que ha considerado la influencia del tipo de blanco a partir del que se hace el dep\u00f3sito, la atm\u00f3sfera durante el dep\u00f3sito, la temperatura de recocido, el espesor de la pel\u00edcula, la ubicaci\u00f3n del catalizador, la temperatura de funcionamiento y la alimentaci\u00f3n el\u00e9ctrica de la pel\u00edcula. El resultado ha sido la obtenci\u00f3n de unas pel\u00edculas delgadas de sno2 de elevada sensibilidad y selectividad al metano.  por otra parte se ha desarrollado una estructura de un microsensor de gas para la detecci\u00f3n de metano. Se han aplicado t\u00e9cnicas avanzadas de procesamiento del silicio como son el micromecanizado en volumen y el pegado electrost\u00e1tico. El microdispositivo resultante incluye un microcalefactor superficial y una pel\u00edcula de \u00f3xido de esta\u00f1o depositada con los par\u00e1metros obtenidos en el estudio prev<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Datos acad\u00e9micos de la tesis doctoral \u00ab<strong>Crecimiento de peliculas delgadas de sno2 mediante pulverizacion catodica para el desarrollo de microsensores de gas metano.<\/strong>\u00ab<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>T\u00edtulo de la tesis:<\/strong>\u00a0 Crecimiento de peliculas delgadas de sno2 mediante pulverizacion catodica para el desarrollo de microsensores de gas metano. <\/li>\n<li><strong>Autor:<\/strong>\u00a0 Santiago Miguel Olaizola Izquierdo <\/li>\n<li><strong>Universidad:<\/strong>\u00a0 Navarra<\/li>\n<li><strong>Fecha de lectura de la tesis:<\/strong>\u00a0 01\/01\/2000<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Direcci\u00f3n y tribunal<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>Director de la tesis<\/strong>\n<ul>\n<li>Javier Gracia Gaudo<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>Tribunal<\/strong>\n<ul>\n<li>Presidente del tribunal: manuel Fuentes perez <\/li>\n<li>Javier Gutierrez monreal (vocal)<\/li>\n<li>Emilio Lora tamayo (vocal)<\/li>\n<li>Andr\u00e9s Garcia alonso montoya (vocal)<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Tesis doctoral de Santiago Miguel Olaizola Izquierdo El continuo avance de la tecnolog\u00eda de microsistemas est\u00e1 dando lugar a innovadores 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