{"id":89074,"date":"2018-03-10T00:14:11","date_gmt":"2018-03-10T00:14:11","guid":{"rendered":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/sin-categoria\/obtencion-de-pela%c2%adculas-policristalinas-de-silicio-germanio-por-cristalizacion-en-fase-solida-a-baja-temperatura\/"},"modified":"2018-03-10T00:14:11","modified_gmt":"2018-03-10T00:14:11","slug":"obtencion-de-pela%c2%adculas-policristalinas-de-silicio-germanio-por-cristalizacion-en-fase-solida-a-baja-temperatura","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/ciencias-tecnologicas\/obtencion-de-pela%c2%adculas-policristalinas-de-silicio-germanio-por-cristalizacion-en-fase-solida-a-baja-temperatura\/","title":{"rendered":"Obtenci\u00f3n de pel\u00edculas policristalinas de silicio-germanio por cristalizaci\u00f3n en fase s\u00f3lida a baja temperatura"},"content":{"rendered":"<h2>Tesis doctoral de <strong> Jimena Olivares Roza <\/strong><\/h2>\n<p>En esta tesis se presentan los resultados obtenidos sobre la preparaci\u00f3n de pel\u00edculas policristalinas de sige en procesos a baja temperatura, compatibles con la fabricaci\u00f3n de transistores de pel\u00edcula delgada sobre vidrios de baja temperatura de transformaci\u00f3n. Las pel\u00edculas se depositaron en forma amorfa y se cristalizaron por cristalizaci\u00f3n en fase s\u00f3lida.  el dep\u00f3sito del material se realiz\u00f3 por lpvcd, utilizando si2h6 y geh4 como fuentes de si y ge, respectivamente. La velocidad de dep\u00f3sito, la composici\u00f3n de las pel\u00edculas y su fracci\u00f3n cristalina se analizaron en funci\u00f3n de los par\u00e1metros del dep\u00f3sito. La composici\u00f3n de las pel\u00edculas y la temperatura de proceso determinan la estructura cristalina de las pel\u00edculas.  las peliculas amorfas con fracciones de ge en el intervalo 0-0,42 se cristalizaron en vac\u00edo a temperaturas entre 525 y 600\u00c2\u00bac. La cin\u00e9tica de cristalizaci\u00f3n se analiz\u00f3 por difracci\u00f3n de rayos x, espectroscop\u00eda raman y reflectancia en el ultravioleta. Estas tres t\u00e9cnicas, as\u00ed como la microscop\u00eda electr\u00f3nica de transmisi\u00f3n, se utilizaron para analizar la morfolog\u00eda de las pel\u00edculas tras el proceso de cristalizaci\u00f3n. El tiempo necesario para completar la cristalizaci\u00f3n disminuye al aumentar la fracci\u00f3n de ge de las pel\u00edculas y la temperatura de proceso.  la dependencia de las velocidades de nucleaci\u00f3n y crecimiento con la fracci\u00f3n de ge se estudi\u00f3 para varias temperaturas de proceso. Las energ\u00edas de activaci\u00f3n de estos procesos y de la difusi\u00f3n se determinaron para varias fracciones de ge. El lugar donde se produce la nucleaci\u00f3n depende de la fracci\u00f3n de ge de las pel\u00edculas y de la temperatura de proceso. El tama\u00f1o de grano en el plano de las pel\u00edculas disminuye al aumentar la fracci\u00f3n de ge de las mismas. La morfolog\u00eda final de las pel\u00edculas tambi\u00e9n var\u00eda con la fracci\u00f3n de ge. Al aumentar su fracci\u00f3n de ge las pel\u00edculas pasan de la orientaci\u00f3n (111) a la de un polic<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Datos acad\u00e9micos de la tesis doctoral \u00ab<strong>Obtenci\u00f3n de pel\u00edculas policristalinas de silicio-germanio por cristalizaci\u00f3n en fase s\u00f3lida a baja temperatura<\/strong>\u00ab<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>T\u00edtulo de la tesis:<\/strong>\u00a0 Obtenci\u00f3n de pel\u00edculas policristalinas de silicio-germanio por cristalizaci\u00f3n en fase s\u00f3lida a baja temperatura <\/li>\n<li><strong>Autor:<\/strong>\u00a0 Jimena Olivares Roza <\/li>\n<li><strong>Universidad:<\/strong>\u00a0 Polit\u00e9cnica de Madrid<\/li>\n<li><strong>Fecha de lectura de la tesis:<\/strong>\u00a0 28\/02\/2001<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Direcci\u00f3n y tribunal<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>Director de la tesis<\/strong>\n<ul>\n<li>Tom\u00e1s Rodr\u00edguez Rodr\u00edguez<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>Tribunal<\/strong>\n<ul>\n<li>Presidente del tribunal: Jes\u00fas Sangrador garcia <\/li>\n<li> Abella mart\u00edn Jos\u00e9 Mar\u00eda (vocal)<\/li>\n<li>joan ramon Morante lleonart (vocal)<\/li>\n<li>stefano Chiussi (vocal)<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Tesis doctoral de Jimena Olivares Roza En esta tesis se presentan los resultados obtenidos sobre la preparaci\u00f3n de pel\u00edculas policristalinas [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"default","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[332,16008,29653,3706],"tags":[185548,30800,84602,14047,72962,20339],"class_list":["post-89074","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-ciencias-tecnologicas","category-politecnica-de-madrid","category-tecnologia-del-silicio","category-tecnologia-electronica","tag-abella-martin-jose-maria","tag-jesus-sangrador-garcia","tag-jimena-olivares-roza","tag-joan-ramon-morante-lleonart","tag-stefano-chiussi","tag-tomas-rodriguez-rodriguez"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/89074","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=89074"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/89074\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=89074"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=89074"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=89074"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}