{"id":95429,"date":"2018-03-11T10:15:23","date_gmt":"2018-03-11T10:15:23","guid":{"rendered":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/sin-categoria\/tecnologias-de-fabricacion-de-microsistemas-electromecanicos-actuados-piezoelectricamente-con-nitruro-de-aluminio\/"},"modified":"2018-03-11T10:15:23","modified_gmt":"2018-03-11T10:15:23","slug":"tecnologias-de-fabricacion-de-microsistemas-electromecanicos-actuados-piezoelectricamente-con-nitruro-de-aluminio","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.deberes.net\/tesis\/tecnologia-electronica\/tecnologias-de-fabricacion-de-microsistemas-electromecanicos-actuados-piezoelectricamente-con-nitruro-de-aluminio\/","title":{"rendered":"Tecnolog\u00edas de fabricaci\u00f3n de microsistemas electromec\u00e1nicos actuados piezoel\u00e9ctricamente con nitruro de aluminio"},"content":{"rendered":"<h2>Tesis doctoral de <strong> Sheila Gonzalez Castilla <\/strong><\/h2>\n<p>Resumen \testa tesis trata del desarrollo de una tecnolog\u00eda para la fabricaci\u00f3n de microsistemas electromec\u00e1nicos actuados piezoel\u00e9ctricamente. El material piezoel\u00e9ctrico activo utilizado es el nitruro de aluminio depositado en forma de pel\u00edcula delgada por pulverizaci\u00f3n reactiva. Las caracter\u00edsticas principales de esta tecnolog\u00eda son la utilizaci\u00f3n de t\u00e9cnicas de micromecanizado en superficie y de procesos de baja temperatura compatibles con las tecnolog\u00edas de fabricaci\u00f3n microelectr\u00f3nica sobre silicio.   \teste desarrollo ha incluido la elecci\u00f3n de los materiales con distinta funcionalidad (contactos, capas de sacrificio, capas piezoel\u00e9ctricas, etc.) Y su procesado (t\u00e9cnicas de dep\u00f3sito y grabado). La elecci\u00f3n de cada material se ha realizado tras un proceso de selecci\u00f3n y optimizaci\u00f3n de varios materiales. As\u00ed, entre otras propiedades, se ha optimizado el \u00f3xido de silicio poroso como capa de sacrificio de alta velocidad de ataque, el nitruro de silicio como capa estructural compatible con la capa de sacrificio, y el nitruro de aluminio como capa activa piezoel\u00e9ctrica. Tambi\u00e9n se han estudiado diferentes m\u00e9todos de caracterizaci\u00f3n estructural y piezoel\u00e9ctrica de cara a optimizar el proceso de dep\u00f3sito de las l\u00e1minas de nitruro de aluminio sobre molibdeno para garantizar el crecimiento de pel\u00edculas de gran calidad cristalina y piezoel\u00e9ctrica.  \tpara validar la tecnolog\u00eda, se han fabricado microrresonadores piezoel\u00e9ctricos que se han caracterizado por interferometr\u00eda l\u00e1ser y vibrometr\u00eda de efecto doppler, lo que ha permitido determinar su respuesta en frecuencia. Tambi\u00e9n se ha realizado un modelo de la respuesta en frecuencias de estos dispositivos. Por otra parte, la respuesta de los dispositivos se ha caracterizado mediante espectroscopia de admitancias. El uso de un condensador piezoel\u00e9ctrico ha permitido actuar y detectar simult\u00e1neamente los desplazamientos inducidos mediante t\u00e9cnicas el\u00e9ctricas debido a las variaciones de los campos el\u00e9ctricos internos producidos en el material piezoel\u00e9ctrico al ser deformado.  \tse ha evaluado la viabilidad de usar estos dispositivos como sensores de masa o como actuadores cuasi-est\u00e1ticos. En primer lugar se han cargado los dispositivos con distintas masas cubri\u00e9ndolos con capas de di\u00f3xido de silicio de distinto espesor depositadas por pulverizaci\u00f3n y se ha medido el cambio de las frecuencias de resonancia. La mejor sensibilidad de masa obtenida es del mismo orden que los mejores sensores m\u00e1sicos de caracter\u00edsticas similares publicados en la bibliograf\u00eda. Por \u00faltimo se ha probado la aplicaci\u00f3n de los dispositivos fabricados como actuadores cuasi-est\u00e1ticos. La aplicaci\u00f3n de una tensi\u00f3n continua a baja frecuencia da lugar a un movimiento de la zona en voladizo cuya magnitud es del orden de algunas micras, suficiente para algunas aplicaciones como, por ejemplo, microinterruptores.<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Datos acad\u00e9micos de la tesis doctoral \u00ab<strong>Tecnolog\u00edas de fabricaci\u00f3n de microsistemas electromec\u00e1nicos actuados piezoel\u00e9ctricamente con nitruro de aluminio<\/strong>\u00ab<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>T\u00edtulo de la tesis:<\/strong>\u00a0 Tecnolog\u00edas de fabricaci\u00f3n de microsistemas electromec\u00e1nicos actuados piezoel\u00e9ctricamente con nitruro de aluminio <\/li>\n<li><strong>Autor:<\/strong>\u00a0 Sheila Gonzalez Castilla <\/li>\n<li><strong>Universidad:<\/strong>\u00a0 Polit\u00e9cnica de Madrid<\/li>\n<li><strong>Fecha de lectura de la tesis:<\/strong>\u00a0 20\/07\/2009<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h3>Direcci\u00f3n y tribunal<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>Director de la tesis<\/strong>\n<ul>\n<li>Enrique Iborra Grau<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>Tribunal<\/strong>\n<ul>\n<li>Presidente del tribunal: Jes\u00fas Sangrador garcia <\/li>\n<li>beatriz Romero herrero (vocal)<\/li>\n<li>Jos\u00e9 Luis S\u00e1nchez de rojas aldavero (vocal)<\/li>\n<li>luc\u00eda Vergara herrero (vocal)<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Tesis doctoral de Sheila Gonzalez Castilla Resumen esta tesis trata del desarrollo de una tecnolog\u00eda para la fabricaci\u00f3n de microsistemas [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"default","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center 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