Contribucion al desarrollo de tecnicas de fabricacion de diodos schottley sobre arseniuro de galio.

Tesis doctoral de Miguel Lopez Coronado

Se han desarrollado y evaluado varias tecnicas para la preparacion de diodos schottley sobre asba haciendo hincapie en aquellos que pueden utilizarse como mezcladores en ondas milimetricas. Se ha desarrollado construido y puesto a punto un equipo completo de crecimiento epitacial en fase vapor de asba por el metodo c/3as/ga/h2 habiendose medido velocidades de crecimiento que dependiendo de las condiciones del mismo van desde 4 a 35 km/hora. Se han optimizado tecnicas convencionales de fotolitografia para abrir ventanas de 2 5 nm de diametro. Se han efectuado depositos piroliticas de si02 y depositos metalicos mediante pulverizacion catodica + tratamiento termico de palodio y wolpario y mediante electrolisis por impulsos de oro y platino obteniendose barreras cercanas al ideal (n 1 03).

 

Datos académicos de la tesis doctoral «Contribucion al desarrollo de tecnicas de fabricacion de diodos schottley sobre arseniuro de galio.«

  • Título de la tesis:  Contribucion al desarrollo de tecnicas de fabricacion de diodos schottley sobre arseniuro de galio.
  • Autor:  Miguel Lopez Coronado
  • Universidad:  Politécnica de Madrid
  • Fecha de lectura de la tesis:  01/01/1983

 

Dirección y tribunal

  • Director de la tesis
    • Miguel Aguilar Fernandez
  • Tribunal
    • Presidente del tribunal: Elias Muñoz Merino
    • José Antonio Martin Pereda (vocal)
    • Juan Piqueras Piqueras (vocal)
    • (vocal)

 

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