Fabrication of soft x-ray diffractive lenses with resolution in the nanometer range

Tesis doctoral de Joan Vila Comamala

Durante las últimas décadas, la construcción de anillos de almacenamiento de electrones exclusivamente dedicados a la producción de radiación sincrotrón ha sido la clave para justificar el gran desarrollo de los componentes ópticos para rayos x. Se requieren nuevos elementos ópticos para una explotación óptima de las propiedades de esta luz, que puede usarse para descubrir los secretos de la materia y para revelar el mundo microscópico. El uso de radiación sincrotrón como sonda ha hecho posible una gran cantidad de experimentos para expandir el conocimiento de muchas áreas científicas. Paulatinamente, la radiación sincrotrón se ha convertido en un instrumento indispensable para muchos científicos, que trabajan en disciplinas muy diferentes como la biología, la química, la ciencia de materiales o incluso la arqueología. la microscopía de rayos x ha emergido como técnica para observar estructuras que no son accesibles con microscopia óptica convencional, y que tiene ventajas respeto a la microscopía electrónica debido a la mayor longitud de penetración y a la sensibilidad química de la radiación x. La óptica de los microscopios de rayos x incluye componentes como las lentes zonales de fresnel que se producen con técnicas de microfabricación. en este trabajo, se han fabricado lentes zonales de fresnel utilizando distintas técnicas y se han testado en diversas fuentes de luz sincrotrón. Describiremos en detalle las técnicas de micro- y nanofabricación que son necesarias para la producción de estos elementes, des de la litografía por haz de electrones a la transferencia del patrón a distintos materiales. En particular, presentamos lentes para rayos x blandos hechas de silicio. Mostraremos que éstas funcionan bien en las fuentes de luz existentes y que debido a su robustez serán también apropiadas para las fuentes de rayos x de 4a generación. También preparamos un elemento óptico difractivo que produce una mancha iluminación

 

Datos académicos de la tesis doctoral «Fabrication of soft x-ray diffractive lenses with resolution in the nanometer range«

  • Título de la tesis:  Fabrication of soft x-ray diffractive lenses with resolution in the nanometer range
  • Autor:  Joan Vila Comamala
  • Universidad:  Autónoma de barcelona
  • Fecha de lectura de la tesis:  08/02/2008

 

Dirección y tribunal

  • Director de la tesis
    • Salvador Ferrer Fabregas
  • Tribunal
    • Presidente del tribunal: María josefa Yzuel gimenez
    • francesc Perez murano (vocal)
    • christian David (vocal)
    • Emilio Lora-tamayo (vocal)

 

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