Tesis doctoral de Carlos Palacio Orcajo
Se ha estudiado la aplicabilidad de la espectroscopia de electrones auger (a.E.S.) Y bombardeo ionico simultaneo para la obtencion de perfiles de concentracion en peliculas delgadas. En particular se ha estudiado la influencia de los parametros experimentales en los efectos que distorsionan el perfil desarrollando un metodo matematico de deconvolucion que permite sustraer dichos efectos. Como aplicacion se ha estudiado por medio de ambas tecnicas la interaccion del oxigeno con el tantalio a exposiciones bajas ( 20l) e intermedias ( con un proceso de difusion y una reaccion con una cinetica de primer orden. Por ultimo se han caracterizado peliculass anodicas de ta2o5 crecidas sobre ta.
Datos académicos de la tesis doctoral «Medida de perfiles de concentracion por medio de a.e.s. y bombardeo ionico simultaneo. aplicacion al estudio de la oxidacion del tantalio.«
- Título de la tesis: Medida de perfiles de concentracion por medio de a.e.s. y bombardeo ionico simultaneo. aplicacion al estudio de la oxidacion del tantalio.
- Autor: Carlos Palacio Orcajo
- Universidad: Autónoma de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1983
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Martinez Duart José Manuel
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Martinez Duart José Manuel
- Francisco Jaque Rechea (vocal)
- Elias Muñoz Merino (vocal)
- Sacedon Adelantado José Luis (vocal)
