Tesis doctoral de Alejandro Castro Garcia
Se han depositado capas de oxinitruro de silicio a partir de silano, amoníaco y oxígeno, utilizando las técnicas lpcvd y pecvd. a partir del análisis por espectrocopía infrarroja ha podido comprobarse que el material preparado por lpcvd es una mezcla de dos compuestos (óxido de silicio y nitruro de silicio). En cambio, las capas preparadas por pecvd constituyen un compuesto químico sioxny en una sola fase. la utilización de estas técnicas de crecimiento en sustratos cerámicos porosos ha permitido modificar sus propiedades de permeabilidad a distintos gases. Esto puede encontrar aplicación en procesos de separación de hidrógeno en sistemas de producción de energía a partir de combustibles fósiles..
Datos académicos de la tesis doctoral «Preparacion de oxidos y oxinitruros de silicio mediante tecnicas de cvd. aplicacion a la modificacion de membranas ceramicas para separacion de gases.«
- Título de la tesis: Preparacion de oxidos y oxinitruros de silicio mediante tecnicas de cvd. aplicacion a la modificacion de membranas ceramicas para separacion de gases.
- Autor: Alejandro Castro Garcia
- Universidad: Autónoma de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1999
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- José María Albella Martin
- Tribunal
- Presidente del tribunal: fernando Rueda sanchez
- José Luis García fierro (vocal)
- Ramos carpio Miguel angel (vocal)
- Rodriguez barbero Miguel angel (vocal)